1、半(bàn)導體潔淨車間的潔淨生產區
潔淨生產區的氣體潔淨室等(děng)級需根據商品生產工藝流程的規定來明確,這是潔淨(jìng)工程建築廠房設計的關鍵依據,客戶除(chú)了出示基本(běn)的施工(gōng)工程圖紙外,還應出示(shì)所生(shēng)產製造(zào)商品的各種各樣設計標準(zhǔn),如溫度、濕度(dù)、氣旋流形要求,生產所需原輔材料特性及水、電、氣要求等。
2、機器(qì)設(shè)備區
即空調淨化係統軟件、公用電廠等,是(shì)潔(jié)淨廠房的關鍵組成部分。在半導體潔淨車間設計中(zhōng),空調淨化機器設備、製冷供暖(nuǎn)應布置在淨化車間內,便於管理,減少管道長(zhǎng)度。
3、潔淨輔助間
這是半導體潔淨車間不可或缺的(de)房間,房間的氣體潔淨室等級除開按顧客規定開展設計外,均按(àn)《潔淨廠房設計規範》GB50073-2001的要求設計。
4、管(guǎn)理區
這是半導體潔淨車間內的商品加工過程的企業生(shēng)產(chǎn)管理、技術水平的管理和(hé)必需的實際操作工作人員的管理區域。
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