千級潔淨棚標準

1.空氣（qì）質量要求:潔淨棚內空氣中顆粒物濃度應小於0.5微米/立方米，

微生物濃度應小於1個（gè）/立（lì）方米。

2.溫度和濕度要（yào）求:潔淨棚內溫度（dù）應保持在18℃~26℃之間，相對濕度（dù）應控製在45%~65%之間。

3.空氣流速要求:潔淨棚內空氣流速應保持在（zài）0.25m/s~0.5m/s之間。

4.地（dì）麵和牆壁材料（liào）要求:地麵和牆壁材料應為（wéi）防靜電材料，並且易清洗（xǐ）、無塵埃積累。

5.照（zhào）明要求:照明強度應達到（dào）300~500LX，並且光源不得產生紫外線和紅外線輻射。

6.進出口通道要求:進出口通道應設置空氣（qì）鎖門或風淋室，以防止（zhǐ）外

界汙染物進入潔（jié）淨棚內。